本文件描述了用低温傅立叶变换红外光谱法测定硅单晶中Ⅲ、Ⅴ族杂质含量的方法。
本文件适用于硅单晶中的Ⅲ、Ⅴ族杂质铝（Al)、锑（Sb)、砷（As)、硼（B)、镓（Ga)、铟（In)和 磷（P)含量的测定，各元素的测定范围（以原子数计)为1.0×10 10 cm -3～4.1×10 14 cm -3
标准编号：GB/T 24581-2022
标准名称：硅单晶中III、V族杂质含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法
英文名称：Test method for Ⅲ and Ⅴ impurities content in single crystal silicon—Low temperature FT-IR analysis method
发布部门：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期：2022-03-09
实施日期：2022-10-01
标准状态：现行/即将实施
替代标准：GB/T 24581-2009，
文件格式：PDF
文件页数：9页
文件大小：789.16KB
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发表于 2022-3-19 20:41:36