JC/T 2243-2014 等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管

本标准规定了等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管的术语和定义、材料、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
本标准适用于板式等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管
标准编号：JC/T 2243-2014
标准名称：等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管
英文名称：Quartz tube covered in film for PECVD
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2014-10-14
实施日期：2015-04-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
文件页数：7页
文件大小：1.58MB

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