本标准规定了以布鲁斯特角入射P偏振辐射红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量的方法。
标准编号：SJ/T 11552-2015
标准名称：以布鲁斯特角入射P偏振辐射红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量
英文名称：Test methods for measurement of interstitial oxygen content of silicon wafers by infrared absorption with P-polarized radiation incident at the Brewster angle
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2015-10-10
实施日期：2016-04-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
文件页数：9页
文件大小：6.35MB
发表于 2021-10-16 17:18:30
