GB/T 42263-2022 硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法

本文件描述了硅单晶中氮含量的二次离子质谱测试方法。
本文件适用于硼、锑、砷、磷的掺杂浓度小于1×10ˇ20 cmˇ-3（0.2%）的硅单晶中氮含量的测定，测定范围不小于1×10ˇ14 cmˇ-3。注： 硅单晶中氮含量以每立方厘米中的原子数计。
标准编号：GB/T 42263-2022
标准名称：硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法
英文名称：Determination of nitrogen content in silicon single crystal—Secondary ion mass spectrometry method
发布部门：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期：2022-12-30
实施日期：2023-04-01
标准状态：现行/即将实施
起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所、有色金属技术经济研究院有限责任公司
起草人员：马农农、何友琴、李素青、陈潇、刘立娜、何烜坤
文件格式：PDF
文件页数：8页
文件大小：1.67MB

标准全文下载：
GBT 42263-2022.pdf (1.67 MB)

2023-2-4 09:12 上传

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