本文件规定了相移干涉法(PSI)轮廓和区域表面结构测量显微镜的计量特性。
标准编号：GB/T 33523.603-2022
标准名称：产品几何技术规范（GPS） 表面结构 区域法 第603部分：非接触（相移干涉显微）式仪器的标称特性
英文名称：Geometrical product specifications (GPS)—Surface texture:Areal—Part 603:Nominal characteristics of non-contact (phase-shifting interferometric microscopy) instruments
发布部门：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期：2022-12-30
实施日期：2023-04-01
标准状态：现行/即将实施
起草单位：清华大学、山东大学、深圳市中图仪器股份有限公司、哈尔滨工业大学、中机生产力促进中心有限公司、中国计量科学研究院、广州计量检测技术研究院、中机研标准技术研究院(北京)有限公司
起草人员：尉昊赟、闫鹏、马俊杰、刘俭、施玉书、代鲲鹏、朱悦
文件格式：PDF
文件页数：31页
文件大小：6.32MB
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发表于 2023-2-8 17:38:35