本文件描述了离子束辐照诱导应变技术构建三维纳米结构与器件的加工方法，主要包括加工原理、材料与设备、环境条件、加工方法。
本文件适用于离子束辐照诱导直立纳米线和平面纳米薄膜的空间应变，进而实现三维空间中由一维纳米线和二维纳米薄膜构成的三维纳米结构与器件。
标准编号：GB/T 42106-2022
标准名称：纳米技术 三维纳米结构与器件的加工方法 离子束辐照诱导应变法
英文名称：Nanotechnology—Fabrication of three dimensional nanostructures and devices—A strain method induced by ion beam irradiation
发布部门：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期：2022-12-30
实施日期：2023-07-01
标准状态：现行/即将实施
起草单位：中国科学院物理研究所、国家纳米科学中心、深圳市标准技术研究院
起草人员：顾长志、杨海方、李俊杰、刘前、王益群、樊阳波
文件格式：PDF
文件页数：10页
文件大小：1.78MB
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发表于 2023-2-8 17:55:25