本文件规定了用于表面高度三维映射的相干扫描干涉(CSI)测量系统的计量特性。
标准编号：GB/T 33523.604-2022
标准名称：产品几何技术规范（GPS） 表面结构 区域法 第604部分：非接触（相干扫描干涉）式仪器的标称特性
英文名称：Geometrical product specifications (GPS)—Surface texture:Areal—Part 604:Nominal characteristics of non-contact(coherence scanning interferometry) instruments
发布部门：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期：2022-12-30
实施日期：2023-04-01
标准状态：现行
起草单位：清华大学、天津大学、厦门市计量检定测试院、江苏锐精光电研究院有限公司、中机生产力促进中心有限公司、中国计量大学、北京时代之峰科技有限公司、枣庄有规信息科技有限公司、中机研标准技术研究院(北京)有限公司
起草人员：尉昊赟、郭彤、郑伟峰、陈刚、孔明、郝建国、张宗政、朱悦
文件格式：PDF
文件页数：37页
文件大小：5.67MB
标准全文下载：
GBT 33523.604-2022.pdf
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发表于 2023-4-28 11:55:13