本文件描述了MEMS压阻式压力敏感器件试验条件和试验方法。
本文件适用于MEMS压阻式压力敏感器件。
标准编号:GB/T 42191-2023
标准名称:MEMS压阻式压力敏感器件性能试验方法
英文名称:Test methods of the performances for MEMS piezoresistive pressure-sensitive device
发布部门:国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期:2023-05-23
实施日期:2023-09-01
标准状态:现行
起草单位:北京大学、中机生产力促进中心有限公司、北京智芯传感科技有限公司、昆山昆博智能感知产业技术研究院有限公司、厦门光莆电子股份有限公司、江门市润宇传感器科技有限公司、宁波志伦电子有限公司、广州奥松电子股份有限公司、华东光电集成器件研究所、深圳市美思先端电子有限公司、南京高华科技股份有限公司、中国科学院微电子研究所、湖南国天电子科技有限公司、南京沃天科技股份有限公司、广州广电计量检测股份有限公司、武汉飞恩微电子有限公司、深圳安培龙科技股份有限公司、昆山传感器测控技术有限公司
起草人员:张威、顾枫、李根梓、陈广忠、李宋、张亚婷、张良、陈立国、林瑞梅、李树成、茅曙、张宾、王鹏、李晓波、许宙、王玮冰、陈路、高峰、明志茂、曹万、陈君杰、王冰
文件格式:PDF
文件页数:14页
文件大小:4.07MB
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