GB/T 43965-2024 电子级正硅酸乙酯

本文件规定了半导体行业用电子级正硅酸乙酯的技术要求、检验规则、型式试验、标志、包装、运输及贮存的要求,描述了试验方法、分析方法与测定结果评价。
本文件适用于沉积二氧化硅的电子级正硅酸乙酯。

标准编号：GB/T 43965-2024
标准名称：电子级正硅酸乙酯
英文名称：Electronic grade ethyl orthosilicate
发布部门：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期：2024-04-25
实施日期：2024-11-01
标准状态：现行/即将实施
起草单位：金宏气体股份有限公司、湖北新蓝天新材料股份有限公司、武汉新硅科技潜江有限公司、江苏南大光电材料股份有限公司、南大光电半导体材料有限公司、中国电子技术标准化研究院、浙江中宁硅业股份有限公司、内蒙古兴洋科技股份有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、江阴润玛电子材料股份有限公司、浙江衢州硅宝化工有限公司、湖北江瀚新材料股份有限公司、浙江开化合成材料有限公司、广州赛西标准检测研究院有限公司
起草人员：孙猛、金向华、赵俊莎、肖俊平、李楷东、吴怡然、曹可慰、赵斌、陶刚义、孙明璐、陈德义、冯琼华、向冲、王成、黄天次、万烨、张园园、郭树虎、戈士勇、戈烨铭、何珂、李冲合、甘俊、陈道伟、张明英
文件大小：1.09MB
文件格式：PDF
文件页数：15页

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2024-7-9 19:43 上传

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