GB/T 44538-2024 碳基薄膜 椭偏光谱法测定非晶态碳基薄膜的光学性能

本文件描述了使用椭偏光谱法测定非晶碳基薄膜光学特性(折射率n和消光系数k)以及通过n-k 图谱进行不同类型非晶碳基薄膜分类的方法。
本文件适用于通过离子蒸镀、溅射、电弧沉积、等离子体辅助化学气相沉积、热丝等工艺沉积的非晶碳基薄膜。
本文件不适用于通过金属或硅改性的非晶碳基薄膜，或在薄膜厚度上存在成分/性质梯度的非晶碳基薄膜。

标准编号：GB/T 44538-2024
标准名称：碳基薄膜 椭偏光谱法测定非晶态碳基薄膜的光学性能
英文名称：Carbon based films—Determination of optical properties of amorphous carbon films by spectfoscopic ellipsometry
发布部门：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期：2024-09-29
实施日期：2025-04-01
标准状态：现行/即将实施
起草单位：中国机械总院集团武汉材料保护研究所有限公司、纳狮新材料有限公司、安徽纯源镀膜科技有限公司、中国科学院深圳先进技术研究院、广东电网有限责任公司、广州今泰科技股份有限公司
起草人员：段海涛、贾丹、曹一莹、张心凤、沈学忠、高明、詹胜鹏、凃杰松、王彦峰、王流火、杨田、陈辉、骆小双、尤锦鸿、易娟、苏东艺
文件大小：591.01KB
文件格式：PDF
文件页数：8页

标准全文下载：
GBT 44538-2024.pdf (591.01 KB)

2025-2-10 23:37 上传

点击文件名下载附件

封面截图如下：