标准编号：T/CHPSA MF006-2024
标准名称：航空航天用聚四氟乙烯密封材料
英文名称：Technical specification for contamination and surface roughness of wet components made of ultrapure polymer materials used in semiconductor processing
发布部门：中国液压气动密封件工业协会
发布日期：2024-12-01
实施日期：2025-03-01
标准状态：现行
起草单位：广州机械科学研究院有限公司、广州国机密封科技有限公司、中国航空工业集团公司沈阳飞机设计研究所、中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所、西北橡胶塑料研究设计院有限公司、重庆大学、通用机械关键核心基础件创新中心（安徽）有限公司广州机械科学分公司、广东工业大学、江苏腾旋科技股份有限公司
起草人员：郭云龙、梁小凤、王勇、梁火寿、窦志伟、王守财、谢睿勋、山磊、张伟、樊帅宾、赵敏敏、高燕、李继锁
文件大小：4.94MB
文件格式：PDF
文件页数：14页
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