本文件描述了半导体设备可靠性、可用性和维修性(RAM)的测量方法。
本文件适用于半导体设备的可靠性、可用性和维修性(RAM)测试。
标准编号：GB/T 24468-2025
标准名称：半导体设备可靠性、可用性和维修性（RAM）测量方法
英文名称：Test method for semiconductor equipment reliability, availability and maintainability(RAM)
发布部门：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期：2025-10-05
实施日期：2026-05-01
替代情况：替代GB/T 24468-2009
文档格式：PDF
文档页数：35页
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发表于 2025-10-29 16:59:50