本文件描述了利用X射线衍射仪测试半导体材料双晶摇摆曲线半高宽，进而评价半导体单晶晶体质量的方法。
本文件适用于碳化硅、金刚石、氧化镓等单晶材料晶体质量的测试，硅、砷化镓、磷化铟等半导体材料晶体质量的测试也可参照本文件执行。
标准编号：GB/T 42676-2023
标准名称：半导体单晶晶体质量的测试 X射线衍射法
英文名称：Test method for crystalline quality of semiconductive single crystal—X-ray diffraction method
发布部门：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期：2023-08-06
实施日期：2024-03-01
标准状态：现行
起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所、有色金属技术经济研究院有限责任公司、北京通美晶体技术股份有限公司、山东有研半导体材料有限公司、弘元新材料(包头)有限公司、哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司、浙江海纳半导体股份有限公司、国标(北京)检验认证有限公司、丹东新东方晶体仪器有限公司、有研国晶辉新材料有限公司、江苏卓远半导体有限公司、新美光(苏州)半导体科技有限公司
起草人员：何烜坤、刘立娜、李素青、庞越、马春喜、许蓉、任殿胜、王元立、朱晓彤、李向宇、杨阳、潘金平、王书明、赵松彬、林泉、李国平、张新峰、赵丽丽、夏秋良
文件大小：682.88KB
文件格式：PDF
文件页数：8页
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发表于 2023-8-21 20:45:21