本标准规定了半导体材料及其生长工艺、加工、晶体缺陷和表面沾污等方面的主要术语和定义。
本标准适用于元素和化合物半导体材料。
标准编号：GB/T 14264-2009
标准名称：半导体材料术语
英文名称：Semiconductor materials—Terms and definitions
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-06-01
替代情况：替代GB/T 14264-1993
起草单位：中国有色金属工业标准计量质量研究所、有研半导体材料股份有限公司、杭州海纳半导体有限公司、国瑞电子材料有限责任公司
起草人员：孙燕、黄笑容、向磊、翟富义、卢立延、郑琪、邓志杰、贺东江
文件格式：PDF
文件页数：49页
文件大小：18.40MB
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