GB/T 12964-2018 硅单晶抛光片

显示全部楼层 · 发表于 2022-1-6 16:44:24

本标准规定了硅单晶抛光片（简称硅抛光片）的牌号及分类、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单（或合同）内容。
本标准适用于直拉法、悬浮区熔法（包括中子嬗变掺杂和气相掺杂）制备的直径不大于200 mm的硅单晶抛光片。产品主要用于制作集成电路、分立元件、功率器件等，或作为硅外延片的衬底。

标准编号：GB/T 12964-2018
标准名称：硅单晶抛光片
英文名称：Monocrystalline silicon polished wafers
发布部门：国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
发布日期：2018-09-17
实施日期：2019-06-01
标准状态：现行
替代情况：替代GB/T 12964-2003
起草单位：有研半导体材料有限公司、上海合晶硅材料有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司、浙江海纳半导体有限公司、浙江省硅材料质量检验中心、有色金属技术经济研究院、天津市环欧半导体材料技术有限公司
起草人员：孙燕、卢立延、徐新华、张海英、楼春兰、杨素心、潘金平、张雪囡
文件大小：284.80KB
文件格式：PDF
文件页数：10页

标准全文下载：

GBT 12964-2018 硅单晶抛光片.pdf (284.8 KB)

封面截图如下：

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