标准编号：GB/T 37049-2018
标准名称：电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
英文名称：Test method for the content of metal impurity in electronic grade polysilicon—Inductively coupled-plasma mass spectrometry method
发布部门：国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
发布日期：2018-12-28
实施日期：2019-04-01
标准状态：现行
起草单位：江苏中能硅业科技发展有限公司、青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、有研半导体材料有限公司、宜昌南玻硅材料有限公司、新特能源股份有限公司、洛阳中硅高科技有限公司
起草人员：鲁文锋、刘晓霞、秦榕、孙燕、赵而敬、王桃霞、赵玉、王忠慧、柳德发、张园园、银波、邱艳梅、刘强
文件大小：295.48KB
文件格式：PDF
文件页数：7页
发表于 2022-1-12 06:37:28
