本标准规定了MEMS器件可靠性综合环境的试验方法和失效结果处理。
本标准适用于需要进行可靠性试验的MEMS器件。
标准编号:GB/T 38341-2019
标准名称:微机电系统(MEMS)技术 MEMS器件的可靠性综合环境试验方法
英文名称:Micro-electromechanical system technology—The reliability test methods of MEMS in integrated environments
发布部门:国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期:2019-12-31
实施日期:2020-04-01
标准状态:现行
起草单位:东南大学、华为技术有限公司、佛山市川东磁电股份有限公司、中机生产力促进中心、浙江博亚精密机械有限公司、沈阳国仪检测技术有限公司、无锡华润上华科技有限公司、北京大学、中北大学、中国科学院电子学研究所、北京必创科技股份有限公司
起草人员:王磊、黄创君、于振毅、陆学贵、朱悦、夏长奉、黄庆安、龙克文、石云波、李海斌、肖昆辉、郑凤杰、张威、程逸轩、马书嫏、陈得民
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