本标准界定了纳米定位与扫描平台(以下简称平台)的术语定义。
本标准适用于纳米定位与扫描平台产品参数的定义。
标准编号：GB/T 38616-2020
标准名称：纳米定位与扫描平台术语
英文名称：Terminology for nano positioning and scanning stage
发布部门：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
发布日期：2020-04-28
实施日期：2020-11-01
起草单位：沈阳建筑大学、三英精控(天津)仪器设备有限公司、广东工业大学、中国计量科学研究院、苏州昊通仪器科技有限公司、沈阳理工大学
起草人员：须颖、戴敬、安冬、邵萌、施玉书、贾静、戴超、文杰、王贺
文件大小：316.01KB
文件格式：PDF
文件页数：12页
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