本标准规定了采用惰性气体熔融及红外技术测试硅材料中氧含量的方法。
本标准适用于不同导电类型、不同电阻率范围的硅单晶、多晶硅中氧含量的测试，测试范围为2.5×1015 cm-3（0.05 ppma)～2.5×1018 cm-3（50 ppma)。
注： 硅材料中的氧含量以每立方厘米中的原子数计。
标准编号：GB/T 38976-2020
标准名称：硅材料中氧含量的测试 惰性气体熔融红外法
英文名称：Test method for the oxygen concentration in silicon materials—Inert gas fusion infrared detection method
发布部门：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
发布日期：2020-07-21
实施日期：2021-06-01
起草单位：有研半导体材料有限公司、上海合晶硅材料有限公司、有色金属技术经济研究院、北京聚睿众邦科技有限公司、厦门银固美能源科技有限公司
起草人员：王永涛、孙燕、徐新华、胡金枝、任丹雅、赵志婷、蔡丽艳、杨素心、陆敏、林兴乐
文件大小：274.39KB
文件格式：PDF
文件页数：6页
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