本标准规定了氮化镓材料中镁含量的二次离子质谱测试方法。
本标准适用于氮化镓材料中镁含量的定量分析,测定范围为不小于5×1014 cm-3。
标准编号:GB/T 39144-2020
标准名称:氮化镓材料中镁含量的测定 二次离子质谱法
英文名称:Test method for magnesium content in gallium nitride materials—Secondary ion mass spectrometry
发布部门:国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期:2020-10-11
实施日期:2021-09-01
起草单位:中国电子科技集团公司第四十六研究所、北京聚睿众邦科技有限公司、东莞市中镓半导体科技有限公司、有色金属技术经济研究院、厦门市科力电子有限公司
起草人员:马农农、何友琴、陈潇、刘立娜、何烜坤、杨素心、闫方亮、杨丽霞、颜建锋、倪青青
文件大小:250.36KB
文件格式:PDF
文件页数:5页
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