本文件规定了碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的二次离子质谱测试方法。
本文件适用于碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的定量分析，测定范围为硼含量不小于5×10ˇ13 cmˇ-3、铝含量不小于5×10ˇ13 cmˇ-3、氮含量不小于5×10ˇ15 cmˇ-3，元素浓度(原子个数百分比)不大于1%。
标准编号：GB/T 41153-2021
标准名称：碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法
英文名称：Determination of boron,aluminum and nitrogen impurity content in silicon carbide single crystal—Secondary ion mass spectrometry
发布部门：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期：2021-12-31
实施日期：2022-07-01
标准状态：现行/即将实施
起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所、有色金属技术经济研究院有限责任公司、山东天岳先进科技股份有限公司
起草人员：马农农、何友琴、陈潇、刘立娜、何烜坤、李素青、张红岩
文件格式：PDF
文件页数：6页
文件大小：525.46KB
标准全文下载：
GBT 41153-2021.pdf
(525.46 KB)
文档首页截图如下：
 |
声明：
1、内容来自用户上传，仅供会员交流学习，禁止用于商业用途,下载后请在24小时之内删除；
2、如涉及侵权问题，请立即告知本站(qbw86@foxmail.com)，本站将及时删除并致以最深的歉意；
发表于 2022-3-1 07:54:16