本标准规定了单晶硅生长用石英坩埚的术语和定义、分类和标记、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。
本标准适用于用高纯石英砂做原料,采用电弧法工艺生产,应用于直拉法生长单晶硅材料的石英坩埚。
标准编号:JC/T 1048-2018
标准名称:单晶硅生长用石英坩埚
英文名称:Fused quartz crucibles for single crystal silicon growth
发布部门:中华人民共和国工业和信息化部
发布日期:2018-10-22
实施日期:2019-04-01
替代标准:JC/T 1048-2007,
文件格式:PDF
文件页数:12页
文件大小:2.80MB
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