本标准规定了超高压短弧汞灯的型号命名、主要尺寸、要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输及储存。
本标准适用于光刻、光固化、老化试验等设备中的曝光用直流超高压短弧汞灯。
标准编号：QB/T 4540-2013
标准名称：超高压短弧汞灯
英文名称：Super high pressure short-arc mercury lamp
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2013-10-17
实施日期：2014-03-01
文件格式：PDF
文件页数：10页
文件大小：722.66KB
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