本标准规定了半绝缘半导体晶片电阻率的非接触式测量方法。
标准编号：SJ/T 11487-2015
标准名称：半绝缘半导体晶片电阻率的无接触测量方法
英文名称：Non-contact measurement method for the resistivity of semi-insulating semiconductor wafer
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
文件格式：PDF
文件页数：8页
文件大小：3.23MB
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