本标准规定了采用光致发光测试系统对表面经过处理的磷镓砷(GaAs1-xPx)晶片组分进行测试的方法。
标准编号:SJ/T 11492-2015
标准名称:光致发光法测定磷镓砷晶片的组分
英文名称:Test methods for measurement of composition of gallium arsenide phosphide wafers by photoluminescence
发布部门:中华人民共和国工业和信息化部
发布日期:2015-04-30
实施日期:2015-10-01
文件格式:PDF
文件页数:8页
文件大小:1.75MB
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