SJ/T 11493-2015 硅衬底中氮浓度的二次离子质谱测量方法

电子行业标准(SJ) · 2021-10-4 07:57:57

本标准规定了用二次离子质谱法（SIMS）对硅衬底单晶体材料中氮总浓度的测试方法。
标准编号：SJ/T 11493-2015
标准名称：硅衬底中氮浓度的二次离子质谱测量方法
英文名称：Test method for measuring nitrogen concentration in silicon substrates by secondary ion mass spectrometry
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
文件格式：PDF
文件页数：7页
文件大小：1.53MB

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