本规范规定了低温共烧陶瓷多层基板制造工艺设备(以下简称设备)的通用要求、质量保证规定、交货准备和说明事项。
本规范适用于低温共烧陶瓷多层基板制造工艺设备,其他微组装制造工艺设备亦可参照使用。
标准编号:SJ 21041-2016
标准名称:低温共烧陶瓷多层基板制造 工艺设备通用规范
英文名称:General specifocation for low temperature co-fired ceramic multi-layer substrate manufacturing process equipment
发布部门:国家国防科技工业局
发布日期:2016-01-19
实施日期:2016-03-01
文件格式:PDF
文件页数:20页
文件大小:6.56MB
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