本规范规定了单片旋转显影/清洗机(以下简称设备)的通用要求、质量保证规定、交货准备和说明事项。
本规范适用于单片旋转显影/清洗机的设计、生产、检验、验收和订购。
标准编号：SJ 21115-2016
标准名称：单片旋转显影/清洗机通用规范
英文名称：General specification for single wafer spinning developing&rinsing machine
发布部门：国家国防科技工业局
发布日期：2016-01-19
实施日期：2016-03-01
起草单位：中国电子科技集团公司第四十五研究所
文件大小：725.28KB
文件格式：PDF
文件页数：21页
标准全文下载：
封面截图如下：
 |
声明：
1、内容来自用户上传，仅供会员交流学习，禁止用于商业用途,下载后请在24小时之内删除；
2、如涉及侵权问题，请立即告知本站(std_123@foxmail.com)，本站将及时删除并致以最深的歉意；
