本标准规定了MEMS惯性器件制造过程中划片的工艺流程、工艺要求和检验要求。
本标准适用于圆片的砂轮划片工艺。
标准编号：SJ 21166-2016
标准名称：MEMS 惯性器件划片工艺技术要求
英文名称：Technical requirements for MEMS inertial device dicing process
发布部门：国家国防科技工业局
发布日期：2016-12-14
实施日期：2017-03-01
文件格式：PDF
文件页数：9页
文件大小：1.79MB
标准全文下载：
文档首页截图如下：
 |
声明：
1、内容来自用户上传，仅供会员交流学习，禁止用于商业用途,下载后请在24小时之内删除；
2、如涉及侵权问题，请立即告知本站(std_123@foxmail.com)，本站将及时删除并致以最深的歉意；
