本标准规定了NIEMS惯性器件制造过程中金属薄膜生长的工艺流程、工艺要求和检验要求。
本标准适用于圆片上金属薄膜(铝、铬/金、铬/铂/金、钦/金、钦/铂/金)生长的工艺。
标准编号：SJ 21168-2016
标准名称：MEMS 惯性器件金属薄膜生长工艺技术要求
英文名称：Technical requirements for MEMS inertial device metal films deposition process
发布部门：国家国防科技工业局
发布日期：2016-12-14
实施日期：2017-03-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
文件页数：14页
文件大小：3.42MB
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发表于 2021-12-6 13:10:30