本标准规定了厚膜激光调阻机(以下简称激光调阻机)工艺性能的验证方法。
本标准适用于激光调阻机工艺性能的验证。
标准编号：SJ 21198-2016
标准名称：激光调阻机工艺验证方法
英文名称：Technological verfication procedures for laser trimming system
发布部门：国家国防科技工业局
发布日期：2016-12-14
实施日期：2017-03-01
文件格式：PDF
文件页数：11页
文件大小：3.67MB
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