本标准规定了干法刻蚀设备工艺验证的一般要求、验证条件、验证方法等内容。
本标准适用于干法刻蚀设备(以下简称刻蚀设备)的工艺性能的验证。
标准编号：SJ 21258-2018
标准名称：干法刻蚀设备工艺验证方法
英文名称：Technological verification procedures for dry etching equipment
发布部门：国家国防科技工业局
发布日期：2018-01-18
实施日期：2018-05-01
文件格式：PDF
文件页数：13页
文件大小：3.52MB
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