本标准规定了MEMS惯性器件敏感结构的设计要求。
本标准适用于硅基MEMS电容式加速度计和振动式陀螺仪敏感结构的设计。
标准编号：SJ 21261-2018
标准名称：MEMS 惯性器件结构设计要求
英文名称：Structural design requirements for MEMS inertial device
发布部门：国家国防科技工业局
发布日期：2018-01-18
实施日期：2018-05-01
文件格式：PDF
文件页数：10页
文件大小：2.96MB
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