本标准规定了MEMS陀螺仪制造过程中的人员、环境、安全、设备和仪器的一般要求，以及工艺流程、工艺准备和参数标定的详细要求。
本标准适用于MEMS陀螺仪制造过程中的零偏、标度因数、零偏温度灵敏度和标度因数温度灵敏度的标定。
标准编号：SJ 21265-2018
标准名称：MEMS 陀螺仪参数标定工艺技术要求
英文名称：Technical requirements for MEMS gyroscope calibration process
发布部门：国家国防科技工业局
发布日期：2018-01-18
实施日期：2018-05-01
文件格式：PDF
文件页数：9页
文件大小：1.95MB
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