本规范规定了旋涂及热板设备的通用要求、质量保证规定、交货准备和说明事项等内容。
本规范适用于旋涂及热板设备(以下简称设备)的设计、生产、检验和验收。
标准编号：SJ 21315-2018
标准名称：旋涂及热板设备通用规范
英文名称：General specification for spin-coating and heat-drying platform
发布部门：国家国防科技工业局
发布日期：2018-01-18
实施日期：2018-05-01
文件格式：PDF
文件页数：16页
文件大小：3.35MB
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