本标准规定了涂胶设备工艺性能的验证条件、验证方法等内容。
本标准适用于涂胶设备(以下简称涂胶机）工艺性能的验证。
标准编号：SJ 21319-2018
标准名称：涂胶设备工艺验证方法
英文名称：Technological verification methods for spin-coating platform
发布部门：国家国防科技工业局
发布日期：2018-01-18
实施日期：2018-05-01
文件格式：PDF
文件页数：10页
文件大小：2.09MB
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