本规范规定了SiC-HPSI型高纯半绝缘碳化硅单晶片的技术要求、质量保证规定、交货准备等。
本规范适用于SiC-HP SI型高纯半绝缘碳化硅单晶片(以下简称碳化硅单晶片)。
标准编号：SJ 21441-2018
标准名称：SiC-HPSI 型高纯半绝缘碳化硅单晶片规范
英文名称：Specification for high purity semi-insulating silicon carbide monocrystalline wafers of SiC-HPSI
发布部门：国家国防科技工业局
发布日期：2018-01-18
实施日期：2018-05-01
文件格式：PDF
文件页数：25页
文件大小：2.94MB
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