本规范规定了β-Ga2O3-N型氧化嫁单晶片的要求、质量保证规定、交货准备等。
本规范适用于直径为50.8mm的β-Ga2O3-N型氧化镓单晶片（以下简称氧化镓单晶片）。
标准编号：SJ 21444-2018
标准名称：β-Ga203-N 型氧化镓单晶片规范
英文名称：Specification for gallium oxide monocrystalline wafers of β-Ga203-N
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2018-01-18
实施日期：2018-05-01
文件格式：PDF
文件页数：16页
文件大小：2.88MB
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