本标准规定了半绝缘砷化镓单晶微区电阻率、碳浓度、EL2浓度和PL谱等均匀性测量方法。
本标准适用于半绝缘砷化镓单晶微区电阻率、碳浓度、EL2浓度和PL谱等均匀性的测试。
标准编号：SJ 20844A-2018
标准名称：半绝缘砷化稼单晶微区均匀性测试方法
英文名称：Test method for microregion homogeneity of semi-insulating monocrystal gallium arsenide
发布部门：国家国防科技工业局
发布日期：2018-12-29
实施日期：2019-03-01
替代标准：SJ 20844-2002，
文件格式：PDF
文件页数：25页
文件大小：5.18MB
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