本标准规定了磷化铟单晶片直径、主、副参考面长度、厚度、总厚度变化、总指示读数、翘曲度弯曲度等几何参数的测试方法。
本标准适用于50 mm~150mm磷化钢单晶片几何参数测试。
标准编号：SJ 21475-2018
标准名称：磷化铟单晶片几何参数测试方法
英文名称：Test methods for geometric parameters of InP wafers
发布部门：国家国防科技工业局
发布日期：2018-12-29
实施日期：2019-03-01
文件格式：PDF
文件页数：10页
文件大小：2.12MB
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