SJ 21476-2018 磷化铟单晶锭退火工艺技术要求

显示全部楼层 · 发表于 2022-1-29 00:34:35

本标准规定了军用磷化铟单晶锭退火工艺的人员、环境、安全、材料、设备和仪器等一般要求，以及磷化铟单晶锭退火工艺的典型工艺流程、各工序技术要求、检验要求等详细要求。
本标准适用于磷化铟单晶锭退火工艺。
标准编号：SJ 21476-2018
标准名称：磷化铟单晶锭退火工艺技术要求
英文名称：Technical requirements for annealing of InP single crystal
发布部门：国家国防科技工业局
发布日期：2018-12-29
实施日期：2019-03-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
文件页数：8页
文件大小：1.98MB

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