本标准规定了声表面波器件光刻工艺的人员、环境、安全、材料、设备和仪器等一般要求，以及声表而波器件光刻工艺的典型工艺流程、各工序技术、检验等详细要求。
本标准适用军用于声表面波器件光刻工艺中的湿法腐蚀方法、干法刻蚀方法、剥离方法。
标准编号：SJ 21497-2018
标准名称：声表面波器件光刻工艺技术要求
英文名称：Technical requirements for lithography process of surface acoustic wave device
发布部门：国家国防科技工业局
发布日期：2018-12-29
实施日期：2019-03-01
文件格式：PDF
文件页数：10页
文件大小：2.87MB
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