本规范规定了电力电子器件用碳化硅外延片(以下简称碳化硅外延片)的技术要求、质量保证、交货准备以及说明事项等内容。
本规范适用于电力电子器件用在n型4H碳化硅衬底上生长了n型(或P型)碳化硅同质外延层的外延片。
标准编号：SJ 21535-2018
标准名称：电力电子器件用碳化硅外延片规范
英文名称：Specification of silicon carbide epitaxial wafer for power electronic device
发布部门：国家国防科技工业局
发布日期：2018-12-29
实施日期：2019-03-01
文件格式：PDF
文件页数：11页
文件大小：2.94MB
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