本规范规定了微波功率器件及集成电路用砷化镓外延片(以下简称砷化镓外延片)的技术要求、质量保证规定、交货准备等内容。
本规范适用于砷化镓微波功率器件和砷化镓微波单片集成电路(MMIC)用砷化镓外延片，其他砷化镓外延片可参照使用。
标准编号：SJ 21536-2018
标准名称：微波功率器件及集成电路用砷化镓外延片规范
英文名称：Specification of gallium arsenide epitaxial wafer for microwave power devices and monolithic microwave integrated circuits
发布部门：国家国防科技工业局
发布日期：2018-12-29
实施日期：2019-03-01
文件格式：PDF
文件页数：11页
文件大小：2.51MB
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