本标准规定了半导体制造设备人机界面的术语和要求。
本标准适用于半导体制造设备。
标准编号：SJ/T 11763-2020
标准名称：半导体制造设备人机界面规范
英文名称：Specification for human interface for semiconductor manufacturing equipment
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2020-12-09
实施日期：2021-04-01
起草单位：北京北方华创微电子装备有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、北方华创科技集团股份有限公司、东莞市中镓半导体科技有限公司、秦皇岛视听机械研究所、上海微电子装备有限公司、北京京仪自动化装备技术有限公司、中微半导体设备(上海)有限公司
文件格式：PDF
文件页数：17页
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