T/CATSI 09010-2021 光学真空腔体洁净度检测规范

显示全部楼层 · 发表于 2022-1-16 07:09:01

第 3章　术语、定义和缩略语
为便于对标准的理解与执行，本章给出了光学真空腔体洁净度分压术语和定义和部分缩略语。
第4章真空腔体污染物
本章主要给出了光学真空腔体污染物的类型，包括油脂、液滴、表面氧化物等。
第5章洁净度标准
本章给出洁净级标准、超净级标准和危险级3种洁净度等级标准的要求。
第6章检测准备
本章主要针对检测件、检测位置以及检测方法、检测仪器设备等主要环节提出相关要求。
第7章检测与结果
本章主要给出检测原理、检测步骤、检测结果判定等要求。
附录A
附录给出了洁净度检测设备基本情况、设备参数及检测条件、腔A RGA质谱结果示例、腔B RGA质谱结果示例、腔B法拉第/倍增结果示例。
标准编号：T/CATSI 09010-2021
标准名称：光学真空腔体洁净度检测规范
发布部门：中国技术监督情报协会
发布日期：2021-08-25
实施日期：2021-08-25
标准状态：现行
文件格式：PDF
文件页数：12页
文件大小：590.24KB

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