本文件适用于电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚工艺技术
标准编号：DB1310/T 227-2020
标准名称：电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚工艺技术规范
发布部门：廊坊市市场监督管理局
发布日期：2020-10-16
实施日期：2020-11-16
文件格式：PDF
文件页数：7页
文件大小：214.58KB
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