本标准规定了铂钌(Pt-Ru)合金薄膜材料中合金态铂及合金态钌含量(质量分数)的测定方法。
本标准适用于铂钌合金薄膜材料中合金态铂及合金态钌质量分数的测定，也可适用于各种铂合金薄膜材料中合金态铂质量分数及其他合金态金属质量分数的测定。测定范围：合金态铂质量分数不小于3％，合金态钌质量分数不小于3％。
本标准不适用于单层厚度不大于10 nm的层状薄膜。
标准编号：YS/T 644-2007
标准名称：铂钌合金薄膜测定方法 X射线光电子能谱法 测定合金态铂及合金态钌含量
英文名称：Determination method of Pt-Ru alloy film—Determination of alloyed Pt content and alloyed Ru content by X-ray photoelectron spectroscopy
发布部门：中华人民共和国国家发展和改革委员会
发布日期：2007-04-13
实施日期：2007-10-01
起草单位：昆明贵金属研究所
起草人员：杨滨、李旸、杨喜昆、昝林寒
文件大小：200.91KB
文件格式：PDF
文件页数：5页
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