本标准规定了铂靶的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及合同或订货单。
本标准适用于半导体器件用的各类铂溅射靶材，其他用途的铂靶材也可参照使用。
标准编号：YS/T 791-2012
标准名称：铂靶
英文名称：Platinum target
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2012-11-07
实施日期：2013-03-01
起草单位：有研亿金新材料股份有限公司
文件大小：210.22KB
文件格式：PDF
文件页数：5页
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