本标准规定了高纯钽中锂、铍、硼、镁、钛、钒、锰、铁、钴、镍、铜、锌、镓、砷、锶、锆、铌、钼、镉、锡、锑、铪、钨、铅和铋量的测定方法。
本标准适用于高纯钽中痕量杂质的测定，测定范围：0.0001%～0.010%。
标准编号：YS/T 898-2013
标准名称：高纯钽化学分析方法 痕量杂质元素的测定 电感耦合等离子体质谱法
英文名称：Methods for chemical analysis of of the high purity tantalum-Determination of trace impurity element content-Inductively coupled plasma mass spectrometry
发布部门：工业和信息化部
发布日期：2013-10-17
实施日期：2014-03-01
起草单位：北京有色金属研究总院、金川新材料科技股份有限公司、东方电气集团峨嵋半导体材料有限公司
文件大小：210.39KB
文件格式：PDF
文件页数：5页
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